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氣浮臺廠家之氣浮平臺的原理

時間:2022-07-15 14:28 來源: 作者:利威特

氣浮臺廠家之氣浮平臺的原理

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氣浮平臺的結(jié)構(gòu)由氣浮導(dǎo)軌(含載物板),直線電機和光柵尺等主要部件組成,需要配干凈,無水無油的壓縮空氣。

氣浮平臺是光刻機貼片機等電子制造設(shè)備的主要工作機構(gòu)。伴隨著電子產(chǎn)品的生產(chǎn),產(chǎn)品的體積越來越小,對精度的要求越來越高。所以,高精度、高穩(wěn)定性的移動平臺對于電子設(shè)備的發(fā)展有著舉足輕重的作用。另外,微電子系統(tǒng)制造和測試、光學(xué)測量加工、超精密加工、航空發(fā)動機測量制造等領(lǐng)域都離不開精密定位技術(shù)。因為空氣軸承精度比滾動軸承高兩個數(shù)量級,且精度高,摩擦系數(shù)小,采用氣浮平臺方案是精密運動平臺設(shè)計的理想選擇。

氣浮平臺在氣體動靜壓效應(yīng)的基礎(chǔ)上,實現(xiàn)了沒有摩擦和沒有振動的平滑移動。之后通過氣管把壓縮空氣輸入到載物板與氣浮導(dǎo)軌之間(氣膜間隙),氣體在氣膜間隙內(nèi)流動,讓載物板在氣浮導(dǎo)軌上浮起來,氣體的作用相當于潤滑劑,能夠起到無摩擦運動。

佛山市利威特機械設(shè)備有限公司專業(yè)生產(chǎn)自動回轉(zhuǎn)線,封邊機回轉(zhuǎn)線,輸送帶連線,氣浮臺,板材回轉(zhuǎn)線,滾筒連線,滾筒回轉(zhuǎn)線,自動傳送板材機,上下料臺等回轉(zhuǎn)線廠家。


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